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長崎総合科学大学教授の田中義人は、高エネルギー物理実験の 研究者でUSA・ロングアイランドのブルックヘブン国立研究所の PHENIX実験に参加し、加速器を使用して宇宙の始まりの物理状態を 明らかにする研究に携わってきました。 この高エネルギー実験で使われているデータ収集システムは 現在の半導体検査装置の10年先を行く技術であり、 このPHENIX実験で開発した超精密測定技術を活用した 独自の半導体検査装置開発に注目し半導体の検査装置、 検査技術、市場などを調査した後に2003年7月に 弊社を設立致しました。
LSIの集積度が高まるにつれ、半導体の設計、製造、検査という 一連の行程の最終段階である検査工程の重要性が増しております。 ここで不良を見逃せば大きなトラブルが発生してしまいます。 一方、液晶テレビや携帯電話などエレクトロニクス製品は低価格化が 進んでおります。半導体の製造コストは、開発コスト、製造コスト、 検査コストの影響を受けます。 このうち開発コストと製造コストは下がっていますが、 検査コストはなかなか下がりません。 半導体の微細プロセスが進むとそれに追従して機能が高度化し、 検査も複雑化して検査装置も高額化してしまうからです。 一説では、現在のデジタル家電に搭載されているLSIの90%が デジタルアナログ混載のLSIで、この半導体コストの20%〜40%が 検査コストであると言われております。
弊社は、この問題に対し物理学分野の独自技術を用いた 半導体検査手法を提供しております。
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